1. Pakrovimas
Padėkite padengtą kvarcinį tiglį ant šilumos mainų stalo, įpilkite silicio žaliavos, tada sumontuokite šildymo įrangą, izoliacijos įrangą ir krosnies dangtį, ištuštinkite krosnį, kad sumažintumėte slėgį krosnyje iki 0,05-0,1 mbar ir palaikytumėte vakuumą. Įdėkite argoną kaip apsaugines dujas, kad slėgis krosnyje iš esmės būtų maždaug 400–600 mbar.
2. Šildymas
Krosnies korpusui pašildyti naudokite grafito šildytuvą, pirmiausia išgarinkite drėgmę, adsorbuotą ant grafito dalių paviršiaus, izoliacijos sluoksnio, silicio žaliavų ir kt., o tada lėtai įkaitinkite, kad kvarcinio tiglio temperatūra pasiektų apie 1200-1300 laipsnių.℃. Šis procesas trunka 4-5h.
3. Lydymasis
Įdėkite argoną kaip apsaugines dujas, kad slėgis krosnyje iš esmės būtų maždaug 400–600 mbar. Palaipsniui didinkite šildymo galią, kad temperatūra tiglyje būtų maždaug 1500℃, ir silicio žaliava pradeda tirpti. Palikti apie 1500℃lydymosi proceso metu, kol lydymasis baigsis. Šis procesas trunka apie 20-22 valandas.
4. Kristalų augimas
Kai silicio žaliava ištirpsta, šildymo galia sumažinama, kad tiglio temperatūra nukristų iki maždaug 1420–1440℃, kuri yra silicio lydymosi temperatūra. Tada kvarcinis tiglis palaipsniui juda žemyn arba izoliacinis įtaisas palaipsniui kyla aukštyn, todėl kvarcinis tiglis lėtai palieka šildymo zoną ir sudaro šilumos mainus su aplinka; tuo pačiu metu per aušinimo plokštę praleidžiamas vanduo, kad iš apačios sumažėtų lydalo temperatūra, o apačioje pirmiausia susidaro kristalinis silicis. Augimo proceso metu kieto ir skysčio sąsaja visada išlieka lygiagreti horizontaliai plokštumai, kol kristalas auga. Šis procesas trunka apie 20-22 valandas.
5. Atkaitinimas
Pasibaigus kristalų augimui, dėl didelio temperatūros gradiento tarp kristalo apačios ir viršaus, luite gali atsirasti šiluminis įtempis, kurį lengva vėl sulaužyti kaitinant silicio plokštelę ir ruošiant bateriją. . Todėl, pasibaigus kristalų augimui, silicio luitas laikomas šalia lydymosi temperatūros 2–4 valandas, kad silicio luito temperatūra būtų vienoda ir sumažintas šiluminis įtempis.
6. Aušinimas
Kai silicio luitas atkaitinamas krosnyje, išjunkite šildymo galią, pakelkite šilumos izoliacijos įtaisą arba visiškai nuleiskite silicio luitą ir į krosnį įleiskite didelį argono dujų srautą, kad palaipsniui sumažintumėte silicio luito temperatūrą iki beveik kambario temperatūra; tuo pačiu metu dujų slėgis krosnyje palaipsniui kyla, kol pasiekia atmosferos slėgį. Šis procesas trunka apie 10 valandų.
Paskelbimo laikas: 2024-09-20
